PlasmaFlo是一款可选配件，可与我们的任何等离子清洁器配合使用。PlasmaFlo提供更精确的定量控制气体流量和监测真空压力，这两者都有利于过程的一致性。也可以添加第二气体源而无需手动更换气体管线。

特征

双气体进料用于气体混合或独立控制两种工艺气体

双工艺气体流量计

49 mL / min大气压最大流量0 psig * 

±2％满量程精度

热电偶真空计传感器连接到等离子清洗器门
数字表显示压力范围1 mTorr至760 Torr 
重量：7 lbs 
尺寸：8.5“H x 10”W x 8“D

*最大流量随工艺气体和调节压力而变化。

相关的流量表可用于我们的等离子清洁器使用的最常见的工艺气体（空气，Ar，N 2，O 2），并在10 psig下计量。

可以提供其他工艺气体和调节压力的流量表。